Description :
Les manomètres capacitifs MKS Baratron sont des transducteurs de vide/pression absolue haut de gamme et de haute précision, la référence industrielle pour les équipements de procédés sous vide pour semi-conducteurs. Basé sur une technologie brevetée de détection par membrane capacitive, il fournit une mesure de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition des gaz de procédé. Largement utilisé avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, il assure un contrôle de pression en boucle fermée ultra-stable pour les systèmes de gravure, CVD, PVD, ALD et d’acheminement de gaz, garantissant une précision constante du vide de chambre et améliorant le rendement de production dans la fabrication des semi-conducteurs.
Caractéristiques clés :
- Précision de premier niveau jusqu’à ±0,25 % de la lecture, résolution ultra-fine de 0,01 % de l’échelle pleine, excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés semi-conducteurs MKS.
- La membrane et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistant aux gaz de procédé spéciaux corrosifs. Testé à 100 % contre les fuites avant livraison pour un fonctionnement sûr dans des environnements plasma difficiles.
- Couvre du vide ultra-fin à la haute pression : 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45 ℃ / 100 ℃ en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
Applications :
- Équipements de fabrication de semi-conducteurs : systèmes de gravure AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Contrôle précis du vide pour le dépôt de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
- Armoire de gaz MFC, système de pompage sous vide, détection de fuites et interverrouillage de sécurité de pression
- PV solaire, revêtement LED, traitement sous vide pharmaceutique et tests de vide de haute précision en laboratoire
FAQ :
Q1 : Quel est l’état du produit et la garantie ?
R : Produits neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.