Description :
Les manomètres à capacité MKS Baratron sont des transducteurs de pression/vide absolu haut de gamme de haute précision, la norme de l’industrie pour les équipements de procédés sous vide dans le secteur des semi-conducteurs. Basés sur une technologie brevetée de détection par diaphragme capacitif, ils fournissent une lecture de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition du gaz de procédé. Largement utilisés avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, ils offrent un contrôle en boucle fermée ultra-stable de la pression pour les procédés de gravure, CVD, PVD, ALD et les systèmes de distribution de gaz, garantissant une précision constante du vide de chambre et améliorant le rendement de production pour la fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Précision de premier ordre jusqu’à ±0,25 % de la valeur lue, résolution ultra-fine de 0,01 % de l’échelle complète, excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés de semi-conducteursMKS.
- Le diaphragme et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistant aux gaz de procédé spéciaux corrosifs. Testés à 100 % contre les fuites avant livraison pour un fonctionnement sûr dans des environnements plasma difficiles.
- Couvre le vide ultra-fin jusqu’à haute pression : 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45℃ / 100℃ en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
Applications :
- Équipements de fabrication de semi-conducteurs : systèmes de gravure AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Contrôle précis du vide pour le dépôt de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
- Armoire de gaz MFC, système de pompage sous vide, détection de fuites et interverrouillage de sécurité de pression
- Photovoltaïque solaire, revêtement LED, procédés pharmaceutiques sous vide et tests de vide de haute précision en laboratoire
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.