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Manomètre capacitif MKS Baratron 627BX13TDC1BS179 tout neuf

Manomètre capacitif MKS Baratron 627BX13TDC1BS179 tout neuf

Manomètre capacitif MKS Baratron 627BX13TDC1BS179 tout neuf

Haute précision, performance stable

Convient à l'automatisation industrielle

En stock et livraison rapide dans le monde entier

  • Numéro d\'article.:

    627BX13TDC1BS179

  • Commande (MOQ):

    1

  • Paiement:

    100% T/T

  • Origine du produit:

    USA

  • Couleur:

    As Model

  • Port d\'expédition:

    Xiamen

  • Délai de mise en œuvre：

    2-3 days
Renseignez-vous maintenant
  • Détails du produit

Description :

Les manomètres capacitifs MKS Baratron sont des transducteurs absolus de vide/pression haut de gamme et de haute précision, la norme industrielle pour les équipements de procédés sous vide pour semi-conducteurs. Basés sur une technologie brevetée de détection à diaphragme capacitif, ils fournissent une lecture de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition du gaz de procédé. Largement compatibles avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, ils assurent un contrôle de pression en boucle fermée ultra stable pour les procédés de gravure, CVD, PVD, ALD et les systèmes d’acheminement de gaz, garantissant une précision constante du vide de chambre et améliorant le rendement de production en fabrication de semi-conducteurs.
 
 
 
Spécifications clés :
  1. Précision de haut niveau jusqu’à ±0,25 % de la lecture, résolution ultra-fine de 0,01 % de l’échelle pleine (Full Scale), excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés de semi-conducteurs MKS.
  2. Le diaphragme et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistante aux gaz de procédés spéciaux corrosifs. Testés à 100 % pour les fuites avant livraison afin de garantir un fonctionnement sûr dans des environnements plasma sévères.
  3. Couvre du vide ultra-fin à la haute pression : 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45℃ / 100℃ en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
 
 
 

Applications :

  1. Équipements de fabrication de semi-conducteurs : systèmes de gravure AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
  2. Contrôle de vide de précision pour le dépôt de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
  3. Armoire de gaz MFC, système de pompage sous vide, détection de fuites et interverrouillage de sécurité de pression
  4. Photovoltaïque solaire, revêtement LED, traitement sous vide pharmaceutique et tests de vide de haute précision en laboratoire

 

 

FAQ :

Q1 : Quelle est la situation du produit et quelle est la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie de 1 an incluse.

Q2 : Quels sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.

Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standard en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.

Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.

Q5 : Emballage et sécurité

 

R : Emballage d'origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.

 

 

Balises associées : Industrial equipment Automation components Capacitance Manometer
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