Description :
Les contrôleurs de robots de manipulation de wafers Brooks PRI sont des systèmes de contrôle de mouvement de haute précision, de qualité salle blanche, conçus par Brooks Automation (USA) pour la fabrication de semi-conducteurs. En tant qu’unité de contrôle centrale des robots de manipulation de wafers Brooks PRI, ils permettent un transport précis, fiable et sans contamination de wafers de 150mm, 200mm et 300mm dans les fabs de semi-conducteurs, constituant un composant essentiel des EFEM (Equipment Front-End Module) et de l’automatisation des outils de procédé.
Spécifications clés :
- Origine et application : contrôleurs fabriqués aux USA dédiés à l’automatisation en salle blanche pour semi-conducteurs, parfaitement adaptés à la manipulation de wafers de 150mm, 200mm et 300mm, agissant comme unités de contrôle principales pour EFEM et les systèmes de production front-end.
- Performance de haute précision : équipés d’un contrôle servo multi-axes et d’une précision de positionnement au niveau du micron, permettant un transfert de wafers stable, rapide et sans dommage dans des environnements atmosphériques et sous vide.
- Excellente compatibilité : conformes aux normes ESD et aux critères stricts des salles blanches. Prend en charge SECS/GEM et Ethernet pour une connexion facile aux systèmes hôtes de l’usine.
- Fonctionnement fiable : testé sur le terrain pour un fonctionnement 24h/24. Un choix fiable et économique pour la maintenance, le remplacement et la mise à niveau des lignes de production de semi-conducteurs existantes.
Applications typiques :
- Automatiser le chargement et le déchargement des FOUP et le pré-alignement des wafers
- Transférer des wafers pour les procédés de gravure, de dépôt et de lithographie
- Prendre en charge les flux de test, d’inspection et de métrologie des wafers
- S’adapter aux lignes de production, à la R&D et aux projets pilotes en salle blanche
FAQ :
Q1 : Quel est l’état du produit et la garantie ?
A : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles.Tracking number + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.