Description :
Les cartes de contrôle PCB LAM Research sont des assemblages de circuits imprimés cœur OEM d’origine spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs et de traitement de couches minces Lam. En tant que colonne vertébrale de contrôle centrale de l’outil, ces cartes exécutent le traitement de signaux à haute vitesse, le contrôle logique en temps réel, l’acquisition précise de données I/O, la distribution d’alimentation et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie de PCB multicouche à haute densité, elles offrent d’excellentes performances anti-EMI, anti-vibration et à faible dégazage pour assurer un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision du procédé des wafers et le rendement de production des fabs.
Spécifications clés :
- La gamme complète couvre les principales cartes nœuds CPU, cartes E/S VIOP, cartes d’acquisition de température, cartes de commande de puissance, cartes de jonction de communication et cartes d’interface capteurs, correspondant entièrement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de procédé Lam.
- Disposition PCB multicouche haut de gamme avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et vitesse de transmission élevée, parfaitement adaptée au traitement des signaux RF haute fréquence et des signaux capteurs faibles à l’intérieur des chambres de procédé.
- Composants électroniques de qualité automobile industrielle, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performance stable sous forte interférence plasma, haute température et fonctionnement continu 24/7 en fab.
- Prend en charge les bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés de Lam, connexion plug-and-play transparente avec les contrôleurs hôtes Lam, modules de gaz MFC, spectromètres endpoint et unités d’entraînement servo.
- Circuits de protection intégrés contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture des codes d’erreur en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure principaux Lam : 2300 Flex, série Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, pression, débit de gaz, puissance RF et transfert des wafers
- Système de détection endpoint, verrouillage de sécurité F&G et interaction des données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1:What is the product situation and warranty like?
R : Articles neufs et authentiques de marque. Garantie d’un an incluse.
Q2:What is your payment terms?
R : T/T, Paypal pris en charge.
Q3: What is the delivery time for the product? Is there sufficient inventory?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4:Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5:Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.