Description :
Les électrodes et les pièces isolantes de Lam Research sont des consommables critiques et des composants structurels pour les équipements de gravure des semi-conducteurs, de dépôt et de traitement par plasma. Les électrodes génèrent et maintiennent un plasma stable pour la fabrication des wafers, tandis que des isolants haute performance isolent les circuits et composants afin de prévenir les fuites électriques, les arcs électriques et les courts-circuits. Fabriquées à partir de matériaux de qualité semi-conducteur spécialisés, ces pièces présentent une excellente résistance électrique, une stabilité thermique et une résistance à l’érosion du plasma. Elles fonctionnent de manière fiable sous vide poussé, à haute température et dans un environnement RF intense, garantissant un fonctionnement stable à long terme des chambres de procédé et un rendement de production constant. Tous les articles sont des pièces OEM authentiques avec une compatibilité parfaite avec les outils de traitement de wafers de Lam Research.
Spécifications clés :
- Utilise des matériaux conducteurs de haute pureté pour les électrodes et de la céramique/quartz de haute qualité pour les isolants, offrant une durabilité exceptionnelle contre la corrosion du plasma.
- Les électrodes assurent une distribution uniforme du plasma ; les isolants offrent une excellente rigidité diélectrique pour éviter les défauts de décharge et les dommages aux équipements.
- Résistent aux hautes températures, aux chocs thermiques et aux contraintes mécaniques, en maintenant des dimensions et des performances précises lors d’un fonctionnement continu 24/7.
- Usinées avec des tolérances serrées, correspondant parfaitement à la structure de l’équipement d’origine pour une installation sans faille et des résultats de procédé stables.
- Entièrement compatibles avec les graveurs Lam, les systèmes CVD, PVD et les systèmes sous vide associés. Faciles à remplacer pour minimiser les temps d’arrêt de production.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma Lam Research
- Équipements de dépôt de couches minces CVD, PVD et ALD
- Chambres de procédé pour wafers 200 mm / 300 mm
- Maintenance des lignes de production de semi-conducteurs et remplacement des pièces de rechange
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.