Description :
Les cartes de contrôle PCB LAM Research sont des ensembles de circuits imprimés centraux OEM d’origine spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs et de traitement de couches minces Lam. En tant que colonne vertébrale de contrôle centrale de l’outil, ces cartes assurent le traitement de signaux à haute vitesse, le contrôle logique en temps réel, l’acquisition précise de données E/S, la distribution d’alimentation et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie PCB multicouche à haute densité, elles offrent d’excellentes performances anti-EMI, anti-vibrations et à faible dégazage afin de garantir un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, assurant efficacement la précision des procédés sur wafer et le rendement de production en fab.
Spécifications clés :
- La série complète couvre les cartes de nœud CPU principales, les cartes E/S VIOP, les cartes d’acquisition de température, les cartes de pilotage de puissance, les cartes de jonction de communication et les cartes d’interface capteurs, s’adaptant entièrement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de process Lam.
- Disposition PCB multicouche haut de gamme avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et vitesse de transmission élevée, parfaitement adaptée au traitement des signaux RF haute fréquence et des faibles signaux de capteurs dans les chambres de procédé.
- Composants électroniques de qualité industrielle automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C à +85°C, conception stricte de protection ESD, performances stables sous forte interférence plasma, haute température et fonctionnement continu 24/7 en fab.
- Prend en charge les bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés Lam, connexion plug-and-play transparente avec les contrôleurs hôtes Lam, les modules de gaz MFC, les spectromètres endpoint et les unités d’entraînement servo.
- Circuits intégrés de protection contre surtension, surintensité, court-circuit et surchauffe ; ports de débogage réservés pour la lecture des codes d’erreur en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure Lam grand public : 2300 Flex, séries Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de la chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transfert des wafers
- Système de détection de point final, verrouillage de sécurité F&G et interaction de données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — veuillez contacter le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.