Description :
Les cartes de contrôle PCB LAM Research sont des ensembles de circuits imprimés cœur OEM d’origine spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs et de traitement de couches minces Lam. En tant que colonne vertébrale de contrôle centrale de l’outil, ces cartes assurent le traitement de signaux à haute vitesse, le contrôle logique en temps réel, l’acquisition précise de données E/S, la distribution d’alimentation et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie PCB multicouche haute densité, elles offrent d’excellentes performances anti-EMI, anti-vibrations et à faible dégazage pour assurer un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision des procédés sur wafer et le rendement de production en fab.
Spécifications clés :
- La gamme complète couvre les cartes nœuds CPU principales, cartes E/S VIOP, cartes d’acquisition de température, cartes de commande de puissance, cartes de jonction de communication et cartes d’interface capteurs, correspondant entièrement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de procédé Lam.
- Disposition PCB multicouche haut de gamme avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et haute vitesse de transmission, parfaitement adaptée au traitement de signaux RF haute fréquence et de faibles signaux de capteurs dans les chambres de procédé.
- Composants électroniques de qualité industrielle automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performances stables sous forte interférence plasma, fonctionnement à haute température et en continu 24/7 en fab.
- Prend en charge le bus VME, Ethernet, RS232/485 et des protocoles de communication propriétaires Lam dédiés, connexion plug-and-play sans interruption avec les contrôleurs hôtes Lam, modules de gaz MFC, spectromètres endpoint et unités d’entraînement servo.
- Circuits de protection intégrés contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture de codes d’erreur en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure principaux Lam : 2300 Flex, série Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transfert des wafers
- Système de détection de fin de gravure, interverrouillage de sécurité F&G et interaction de données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.