Description :
Il s'agit d'une carte d'alimentation OEM originale pour le LAM Research Electrostatic Chuck (ESC), un composant essentiel pour les graveurs et systèmes de dépôt de semi-conducteurs. Elle fournit une tension continue élevée et stable pour maintenir fermement les wafers grâce à la force électrostatique à l'intérieur des chambres sous vide. Conçue avec des composants électroniques de haute qualité et un circuit anti-interférences, elle maintient d'excellentes performances dans des environnements de vide poussé, de haute température et de fortes interférences RF, garantissant un positionnement constant des wafers et un rendement de production stable lors d'un fonctionnement continu 24/7. Il s'agit d'une pièce de remplacement fiable pour la maintenance des équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Entièrement compatible avec les équipements de gravure, CVD et PVD de LAM Research. Testée et calibrée strictement en usine pour un ajustement parfait.
- Présente une ondulation ultra-faible et une sortie de courant stable. Le contrôle en boucle fermée compense les interférences RF pour maintenir une force de serrage constante.
- Équipée de protections contre les surtensions, les surintensités, les surchauffes et la détection d'arc. Elle coupe instantanément l'alimentation pour protéger les wafers et les équipements.
- Optimisée pour les environnements de salle blanche et de vide difficiles, résistante aux vibrations, à la chaleur et aux interférences électromagnétiques pour une longue durée de vie.
- Une structure standard et une interface dédiée permettent un remplacement direct, réduisant considérablement les temps d'arrêt des équipements et les coûts de maintenance.
Applications typiques :
- systèmes de gravure plasma LAM Research
- outils de dépôt de couches minces CVD, PVD et ALD
- chambres de traitement sous vide pour wafers 200 mm / 300 mm
- maintenance des lignes de production de semi-conducteurs et remplacement de pièces détachées
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d'un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il un stock suffisant ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après l'expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d'origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.