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Tout neuf Lam Research 98008SA6F3P3 contrôleur de débit massique

Tout neuf Lam Research 98008SA6F3P3 contrôleur de débit massique

Tout neuf Lam Research 98008SA6F3P3 contrôleur de débit massique

Haute précision, performances stables

Adapté à l'automatisation industrielle

En stock et livraison rapide dans le monde entier

  • Numéro d\'article.:

    98008SA6F3P3
  • Commande (MOQ):

    1
  • Paiement:

    100% T/T
  • Origine du produit:

    USA
  • Couleur:

    As Model
  • Port d\'expédition:

    Xiamen
  • Délai de mise en œuvre:

    2-3 days
  • Détails du produit

Description :

Les MFCs de LAM Research sont des composants critiques pour la fabrication de semi-conducteurs, conçus pour réguler les débits de gaz avec une précision exceptionnelle dans les systèmes de gravure, d’ashing et de dépôt de LAM. Conçus pour répondre aux exigences strictes de la fabrication aux nœuds 5nm–7nm, ces contrôleurs assurent une alimentation en gaz constante, ayant un impact direct sur l’uniformité des wafers, le rendement et la stabilité des procédés. Qu’il s’agisse de gaz de gravure fluorés, de gaz porteurs inertes ou de gaz de dépôt réactifs, les MFCs de LAM Research offrent des performances fiables et reproductibles dans des environnements de salle blanche fonctionnant 24/7.
 
 
Spécifications clés :
  1. Contrôleur de débit massique OEM (MFC) de LAM Research
  2. Précision ±1% FS, répétabilité ±0,1% pour les procédés à l’échelle nanométrique
  3. Plages : 10 sccm–10 slm ; compatible avec NF₃, HBr, O₂, N₂, Ar
  4. Interfaces : Analogiques (0–5V/4–20mA), DeviceNet, EtherCAT
  5. Parties en contact : 316L SS/PTFE ; raccords VCR 1/4"
 

 

Applications typiques :

  1. Gravure des semi-conducteurs : procédés de gravure diélectrique, conductrice et du silicium (2300 Versys, TCP9600)
  2. Dépôt (CVD/PVD) : dépôt de couches minces pour nœuds avancés
  3. Traitement plasma : incinération (ashing), stripping et traitement de surface
  4. Fabrication de wafers : fabs 200 mm/300 mm, procédés 5 nm–7 nm

 

 

FAQ :

Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d'un an incluse.

Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.

Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant—contactez le service client pour les délais.

Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.

Q5 : Emballage et sécurité

 

R : Emballage d'origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.

 

 

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