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Tout neuf Lam Research SM930LP1NCS202 Contrôleur de débit massique

Tout neuf Lam Research SM930LP1NCS202 Contrôleur de débit massique

Tout neuf Lam Research SM930LP1NCS202 Contrôleur de débit massique

Haute précision, performances stables

Adapté à l'automatisation industrielle

En stock et livraison rapide dans le monde entier

  • Numéro d\'article.:

    SM930LP1NCS202

  • Commande (MOQ):

    1

  • Paiement:

    100% T/T

  • Origine du produit:

    USA

  • Couleur:

    As Model

  • Port d\'expédition:

    Xiamen

  • Délai de mise en œuvre：

    2-3 days
Renseignez-vous maintenant
  • Détails du produit

Description :

Les spectromètres à fibre optique LAM Research sont des dispositifs de surveillance optique de haute précision intégrés aux équipements de traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Principalement associés à des modules optiques professionnels, ils adoptent une conception de transmission par fibre optique pour capturer les spectres d'émission de plasma, de réflexion et de transmission à l'intérieur des chambres de procédé. Largement utilisés pour la détection de fin de gravure, la métrologie des couches minces et la surveillance en temps réel de l'état du plasma, ces unités garantissent des performances de procédé stables, améliorent le rendement de production et réduisent les produits défectueux dans les procédés de gravure, CVD, PVD et autres procédés de fabrication sous vide. En tant que composants compatibles OEM d'origine, ils offrent une excellente compatibilité et une fiabilité à long terme pour les équipements de procédé de la gamme complète LAM.
 
 
 
Caractéristiques principales :
  1. Équipés de détecteurs CCD/PMT haute sensibilité, offrant une résolution spectrale exceptionnelle et un faible bruit. Couvre la plage de longueurs d'onde UV-visible pour répondre aux divers besoins de surveillance des procédés des semi-conducteurs.
  2. Les interfaces fibre SMA standard prennent en charge la transmission de signaux sur longue distance. Les sondes compatibles avec le vide fonctionnent de manière stable dans des environnements à vide poussé, à haute température et de plasma.
  3. L'analyse spectrale en temps réel permet un jugement précis de la fin de gravure, la mesure de l'épaisseur des couches minces et des propriétés optiques, évitant efficacement la surgravure et la sous-gravure.
  4. Ports de communication Ethernet et RS-232 intégrés, entièrement compatibles avec les protocoles des équipements LAM pour une interaction de données fluide et une intégration système.
  5. Structure compacte et robuste avec capacités anti-vibration et anti-interférences. Prend en charge un fonctionnement continu 24/7 et un remplacement facile sur site.
 

 

Applications typiques :

  1. Systèmes de gravure plasma, équipements de dépôt de couches minces CVD, PVD et ALD
  2. Détection de fin de gravure pour les procédés de gravure des plaquettes
  3. Mesure in situ de l'épaisseur des couches minces et de la réflectance
  4. Analyse en temps réel de l'état du plasma pour les chambres de procédé sous vide
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL et autres plateformes de procédés principales

 

 

FAQ :

Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Produits neufs et authentiques. Garantie d'un an incluse.

Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.

Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standard en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.

Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.

Q5 : Emballage et sécurité

 

R : Emballage d'origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.

 

 

Balises associées : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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