Tout nouveau contrôleur de vanne d’échappement de pression automatique MKS 152E-P0-S

1. Stabilisation de pression de précision PID conforme aux normes industrielles
2. Double modes de fonctionnement pour répondre à des besoins de production diversifiés
3. Interconnexion complète des signaux et automatisation à distance
4. Démarrage progressif (Softstart) et fonctionnement stable avec protection multiple
5. Compatibilité parfaite avec l’écosystème des composants de vide MKS

Applications :

1. Fabrication de plaquettes semi-conductrices : machine de gravure plasma, équipement de dépôt CVD, système de pulvérisation cathodique PVD, chambre à vide de nettoyage des plaquettes
2. Industrie optoélectronique et des écrans : revêtement de couches minces OLED/LCD, pulvérisation de substrats en verre, ligne de revêtement sous vide de lentilles optiques
3. Fabrication des nouvelles énergies : ligne de production de dépôt de cellules solaires à couche mince, équipement de traitement sous vide des matériaux de batteries
4. Laboratoire et recherche scientifique : banc d’essai à ultra-vide, four à vide de précision, plateforme expérimentale de traitement de surface des matériaux