Tout nouveau contrôleur de vanne d'échappement de pression automatique MKS 152E-PSO

1. Stabilisation de pression de précision PID conforme aux standards de l’industrie
2. Deux modes de fonctionnement pour répondre aux besoins de production diversifiés
3. Interopérabilité complète des signaux et automatisation à distance
4. Démarrage progressif et fonctionnement stable avec protection multiple
5. Compatibilité parfaite avec l’écosystème des composants de vide MKS

Applications :

1. Fabrication de wafers semi-conducteurs : machine de gravure plasma, équipement de dépôt CVD, système de pulvérisation PVD, chambre de vide de nettoyage de wafers
2. Industrie optoélectronique et d’affichage : revêtement de couches minces OLED/LCD, pulvérisation de substrats en verre, ligne de revêtement sous vide pour lentilles optiques
3. Fabrication des nouvelles énergies : ligne de production de dépôt de cellules solaires à couche mince, équipements de traitement sous vide des matériaux de batteries
4. Laboratoire et recherche scientifique : banc d’essai sous vide poussé, four à vide de précision, plateforme expérimentale de traitement de surface des matériaux