Description :
Papillon de régulation de vide à angle droit MKS fabriqué aux États-Unis, conçu pour un contrôle précis du flux d'échappement et de la pression de la chambre dans les processus à haut vide. La disposition unique à angle droit de 90° permet de gagner de l'espace lors de l'installation dans les armoires, le moteur pas à pas haute vitesse intégré et l'encodeur de position haute résolution offrent un contrôle linéaire ultra-stable de la pression. Corps de valve en acier inoxydable avec joint à faible dégazage, compatible avec plusieurs standards de brides, options de communication analogique/numérique disponibles. Unités neuves d'origine et entièrement reconditionnées testées en stock, expédition DAP mondiale et documentation technique complète disponible.
Spécifications clés :
- Conception du flux d'air vertical à 90 degrés, réduisant considérablement l'encombrement des conduites horizontales, facile à installer à l'intérieur des outils de cluster de semi-conducteurs compacts et des armoires à vide.
- Mécanisme d'entraînement non linéaire breveté optimisant le mouvement du clapet, permettant un ajustement linéaire du flux, avec un dépassement de pression minimal et des recettes de processus stables et reproductibles.
- Moteur pas à pas haute couple, ouverture/fermeture complète en 200 ms ; clapet épaissi empêchant l'accumulation de poussière, longue durée de vie dans des environnements corrosifs de gaz pour gravure et dépôt.
- Corps de valve entièrement en acier inoxydable, joint en caoutchouc fluoré à faible dégazage, conforme aux normes de salle blanche à haut vide ; version chauffante supportée jusqu'à 200 ℃ pour éviter la condensation des gaz de procédé.
- Plusieurs options de brides : ISO-KF, ISO-F, CF ; support pour analogique 0-10 V, RS232, EtherCAT, DeviceNet. Modèles complets en stock, fourniture de schémas de câblage, manuels d'utilisation et assistance technique à distance.
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Produits neufs d'origine. Garantie d'un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal supporté.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il un stock suffisant ?
R : Modèles standard en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fourni après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage de marque d'origine avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour engrenages de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.