Description :
MKS RF Matchers (également appelés boîtiers/réseaux d'adaptation RF) sont des dispositifs d'adaptation d'impédance automatique haute performance conçus pour les systèmes de plasma industriels et de semi-conducteurs. Ils alignent dynamiquement l'impédance de sortie de 50Ω des générateurs RF avec l'impédance variable des chambres plasma, des graveurs (etchers), des systèmes PECVD et des outils de pulvérisation cathodique (sputtering), en minimisant la puissance réfléchie et en maximisant l'efficacité du transfert de puissance. Dotés d'un réglage rapide, d'un blindage robuste et de conceptions compactes en montage rack, ils garantissent un amorçage plasma stable, des performances de procédé constantes et une fiabilité de production 24/7. Disponibles en état neuf, reconditionné et d'occasion entièrement testé.
Spécifications clés :
- Adaptation d'impédance automatique : réglage en temps réel pour adapter la sortie 50Ω du générateur à l'impédance variable de charge plasma ; minimise la puissance réfléchie (généralement
- Vitesse de réglage rapide : réponse à grande vitesse (
- Large plage de fréquences et de puissance : prend en charge 13.56MHz (standard), 27.12MHz, 40.68MHz ; puissances de 300W à 10kW
- Construction robuste : boîtier métallique robuste avec blindage EMI/RFI ; refroidissement par air standard (option refroidissement par eau pour les modèles haute puissance)
- Composants de précision : condensateurs variables, inductances et moteurs pas à pas de haute qualité pour une longue durée de vie (plus de 1 000 000 de cycles)
Applications :
- Fabrication de semi-conducteurs : gravure RIE/ICP, dépôt PECVD/LPCVD, incinération plasma (ashing), nettoyage de wafers, systèmes de sas de chargement
- Revêtement sous vide : pulvérisation cathodique (sputtering), évaporation, dépôt de couches minces PVD/CVD pour l’optique, les écrans et les cellules solaires
- Traitement plasma industriel : activation de surface, nettoyage, gravure et revêtement pour métaux, plastiques et céramiques
- Recherche et développement : laboratoires universitaires, instituts de recherche et lignes de production pilote nécessitant une alimentation RF plasma stable
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Produits neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.