Description :
Les contrôleurs de robot de manutention de wafers Brooks PRI sont des systèmes de contrôle de mouvement de haute précision, de qualité salle blanche, conçus par Brooks Automation (USA) pour la fabrication de semi-conducteurs. En tant qu’unité de contrôle centrale des robots de manutention de wafers Brooks PRI, ils permettent un transport précis, fiable et sans contamination de wafers de 150 mm, 200 mm et 300 mm dans les fabs de semi-conducteurs, constituant un composant essentiel des modules EFEM (Equipment Front-End Module) et de l’automatisation des outils de procédé.
Spécifications clés :
- Origine et application : Contrôleurs fabriqués aux États-Unis dédiés à l’automatisation en salle blanche pour semi-conducteurs, parfaitement adaptés à la manipulation de wafers de 150 mm, 200 mm et 300 mm, servant d’unités de contrôle principales pour les systèmes EFEM et les lignes de production en front-end.
- Performances de haute précision : Équipés d’un contrôle servo multi-axes et d’une précision de positionnement au micron, permettant un transfert de wafers stable, rapide et sans dommage dans des environnements atmosphériques et sous vide.
- Excellente compatibilité : Conforme aux normes ESD et aux critères stricts de salle blanche. Prend en charge SECS/GEM et Ethernet pour une connexion facile aux systèmes hôtes de l’usine.
- Fonctionnement fiable : Testé sur le terrain pour un fonctionnement 24h/24 et 7j/7. Un choix fiable et économique pour la maintenance, le remplacement et la mise à niveau des lignes de production de semi-conducteurs existantes.
Applications typiques :
- Automatiser le chargement et déchargement des FOUP ainsi que le pré-alignement des wafers
- Transférer les wafers pour les processus de gravure, dépôt et lithographie
- Prendre en charge les flux de test, d’inspection et de métrologie des wafers
- S’adapte aux lignes de production, à la R&D et aux projets pilotes en salle blanche
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : Virement T/T, PayPal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Les modèles standards sont en stock et expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.