Description :
Les contrôleurs de robots de manutention de wafers Brooks PRI sont des systèmes de contrôle de mouvement de haute précision, de qualité salle blanche, conçus par Brooks Automation (USA) pour la fabrication de semi-conducteurs. En tant qu’unité de contrôle centrale des robots de manutention de wafers Brooks PRI, ils permettent un transport précis, fiable et sans contamination de wafers de 150 mm, 200 mm et 300 mm dans les fabs de semi-conducteurs, constituant un composant critique des EFEM (Equipment Front-End Module) et de l’automatisation des équipements de procédé.
Spécifications clés :
- Origine et application : Contrôleurs fabriqués aux États-Unis dédiés à l’automatisation en salle blanche pour semi-conducteurs, parfaitement adaptés à la manipulation de wafers de 150 mm, 200 mm et 300 mm, servant d’unités de contrôle centrales pour les EFEM et les systèmes de production front-end.
- Performances de haute précision : Équipés d’un contrôle servo multi-axes et d’une précision de positionnement au niveau du micron, permettant un transfert de wafers stable, rapide et sans dommage dans des environnements atmosphériques et sous vide.
- Excellente compatibilité : Conforme aux exigences ESD et aux critères stricts des salles blanches. Prend en charge SECS/GEM et Ethernet pour une connexion facile aux systèmes hôtes de l’usine.
- Fonctionnement fiable : Testé sur le terrain pour un fonctionnement 24 h/24 et 7 j/7. Un choix fiable et économique pour la maintenance, le remplacement et la mise à niveau des lignes de production de semi-conducteurs existantes.
Applications typiques :
- Automatisation du chargement et déchargement des FOUP et du pré-alignement des wafers
- Transfert de wafers pour les procédés de gravure, dépôt et lithographie
- Prise en charge des flux de test, d’inspection et de métrologie des wafers
- Adapté aux lignes de production, à la R&D et aux projets pilotes en salle blanche
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et quelle est la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : Virement bancaire (T/T), PayPal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après l’expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.