Description :
Le Lam Research Temperature Control Board est un composant central de gestion thermique pour les systèmes de gravure, de dépôt et de traitement des wafers dans le secteur des semi-conducteurs. Il assure une régulation de température multi-canaux de haute précision afin de maintenir une uniformité thermique stricte dans les chambres de procédé, les mandrins électrostatiques (ESC) et les plateaux de wafers. Conçu pour un fonctionnement 24/7 dans des environnements à vide poussé, à haute température et à plasma, il garantit une température de wafer constante, stabilise les recettes de procédé et maximise le rendement de production. Les cartes OEM authentiques de Lam garantissent une compatibilité plug-and-play, un étalonnage précis et une fiabilité à long terme pour les fabs de semi-conducteurs avancés (nœuds 2nm/3nm).
Spécifications clés :
- Assemblage PCB d'origine Lam Research, entièrement compatible avec les graveurs Kiyo, les plateformes ExAL et les systèmes CVD/PVD. Étalonné en usine et testé pour une intégration sans faille.
- Prend en charge 16–24 canaux (entrées Pt100 RTD/thermocouple) ; atteint une stabilité de ±0,1°C sur une plage de 25–150°C grâce à des algorithmes PID à auto-réglage.
- Régulation en boucle fermée pour chauffage/refroidissement (compatible TEC) ; retour capteur en temps réel avec un échantillonnage de 500 Hz ; compensation de la dérive ambiante et du retard des capteurs.
- Conçu pour le vide (≤1×10⁻⁶ Torr), blindé contre les EMI, résistant aux vibrations ; fonctionne de manière fiable de 0 à 55°C avec immunité aux interférences plasma et RF.
- Conception modulaire, remplaçable à chaud pour un remplacement rapide ; diagnostics embarqués pour la température, l'état des capteurs et l'enregistrement des pannes ; réduit les arrêts non planifiés.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Équipements de dépôt de couches minces CVD/PVD/ALD
- Chambres de procédé de wafers 200 mm / 300 mm et ESC
- Fabs logiques/mémoire avancées (nœuds 2nm/3nm)
- Maintenance de fabs de semi-conducteurs, pièces de rechange et mises à niveau
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et de la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d'un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standard en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après l'expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d'origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.