Description :
La carte de contrôle de température Lam Research est un composant central de gestion thermique pour les systèmes de gravure, de dépôt et de traitement de wafers de semi-conducteurs. Elle fournit une régulation de température multi-canal de haute précision afin de maintenir une uniformité thermique stricte dans les chambres de procédé, les mandrins électrostatiques (ESC) et les étapes de wafers. Conçue pour un fonctionnement 24/7 dans des environnements sous vide poussé, à haute température et à plasma, elle garantit une température de wafer constante, stabilise les recettes de procédé et maximise le rendement de production. Les cartes OEM Lam authentiques garantissent une compatibilité plug-and-play, un étalonnage précis et une fiabilité à long terme pour les fabs de semi-conducteurs de nœud avancé (2 nm/3 nm).
Spécifications clés :
- Assemblage de PCB Lam Research d’origine, entièrement compatible avec les graveurs Kiyo, les plateformes ExAL et les systèmes CVD/PVD. Étalonné en usine et testé pour une intégration transparente.
- Prend en charge 16–24 canaux (entrées RTD Pt100/thermocouple) ; atteint une stabilité de ±0,1 °C sur la plage 25–150 °C grâce à des algorithmes PID à auto-réglage.
- Contrôle en boucle fermée du chauffage/refroidissement (compatible TEC) ; retour capteur en temps réel avec un échantillonnage de 500 Hz ; compensation de la dérive ambiante et du retard des capteurs.
- Compatible vide (≤1×10⁻⁶ Torr), blindé contre les EMI, résistant aux vibrations ; fonctionne de manière fiable entre 0 et 55 °C avec immunité aux interférences plasma et RF.
- Conception modulaire remplaçable à chaud pour un remplacement rapide ; diagnostics embarqués pour la température, l’état des capteurs et l’enregistrement des défauts ; réduit les arrêts non planifiés.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Équipements de dépôt de couches minces CVD/PVD/ALD
- Chambres de procédé de wafers 200 mm / 300 mm & ESC
- Fonderies logiques/mémoires avancées (nœuds 2 nm/3 nm)
- Maintenance de fonderies de semi-conducteurs, pièces de rechange et mises à niveau
FAQ :
Q1 : Quel est l’état du produit et la garantie ?
A : Produits authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition & suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage & sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.