Description :
La carte de contrôle de température Lam Research est un composant central de gestion thermique pour les systèmes de gravure, de dépôt et de traitement des wafers pour semi-conducteurs. Elle fournit une régulation de température multicanal de haute précision afin de maintenir une uniformité thermique stricte dans les chambres de procédé, les mandrins électrostatiques (ESC) et les platines de wafers. Conçue pour un fonctionnement 24/7 dans des environnements à vide poussé, à haute température et plasma, elle garantit une température de wafer constante, stabilise les recettes de procédé et maximise le rendement de production. Les cartes OEM Lam authentiques garantissent une compatibilité plug-and-play, un étalonnage précis et une fiabilité à long terme pour les fabs de semi-conducteurs avancés (nœuds 2nm/3nm).
Spécifications clés :
- Assemblage de PCB Lam Research d’origine, entièrement compatible avec les graveurs Kiyo, les plateformes ExAL et les systèmes CVD/PVD. Calibré en usine et testé pour une intégration sans faille.
- Prend en charge 16–24 canaux (entrées RTD Pt100 / thermocouples) ; atteint une stabilité de ±0,1 °C sur une plage de 25–150 °C via des algorithmes PID à auto-réglage.
- Contrôle en boucle fermée pour chauffage/refroidissement (compatible TEC) ; retour capteur en temps réel avec échantillonnage à 500 Hz ; compensation de la dérive ambiante et du retard des capteurs.
- Classé pour le vide (≤1×10⁻⁶ Torr), blindage EMI, résistant aux vibrations ; fonctionne de manière fiable entre 0–55 °C avec immunité aux interférences plasma et RF.
- Conception modulaire remplaçable à chaud pour un remplacement rapide ; diagnostics embarqués pour la température, l’état des capteurs et la journalisation des pannes ; réduit les temps d’arrêt non planifiés.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Équipements de dépôt de couches minces CVD/PVD/ALD
- Chambres de procédé de wafers 200 mm / 300 mm et ESC
- Fabs de logique/mémoire avancée (nœuds 2nm/3nm)
- Maintenance de fabs de semi-conducteurs, pièces de rechange et mises à niveau
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Produits authentiques neufs. Garantie de 1 an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il un stock suffisant ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.