Description :
Le Lam Research Temperature Control Board est un composant central de gestion thermique pour les systèmes de gravure, de dépôt et de traitement des wafers de semi-conducteurs. Il assure une régulation de température multicanal de haute précision afin de maintenir une uniformité thermique stricte à travers les chambres de procédé, les mandrins électrostatiques (ESC) et les étapes de wafer. Conçu pour un fonctionnement 24/7 dans des environnements à vide élevé, haute température et plasma, il garantit une température de wafer constante, stabilise les recettes de procédé et maximise le rendement de production. Les cartes OEM d’origine Lam garantissent une compatibilité plug-and-play, un étalonnage précis et une fiabilité à long terme pour les fabs de semi-conducteurs de nœud avancé (2 nm/3 nm).
Spécifications clés :
- Assemblage de PCB original Lam Research, entièrement compatible avec les graveurs Kiyo, les plateformes ExAL et les systèmes CVD/PVD. Calibré en usine et testé pour une intégration sans faille.
- Prend en charge 16 à 24 canaux (entrées Pt100 RTD/thermocouple) ; atteint une stabilité de ±0,1 °C sur une plage de 25 à 150 °C grâce à des algorithmes PID à auto-réglage.
- Contrôle en boucle fermée pour le chauffage/refroidissement (compatible TEC) ; retour des capteurs en temps réel avec un échantillonnage à 500 Hz ; compensation de la dérive ambiante et du retard des capteurs.
- Conçu pour le vide (≤1×10⁻⁶ Torr), blindé contre les interférences électromagnétiques (EMI), résistant aux vibrations ; fonctionne de manière fiable entre 0 et 55 °C avec immunité aux interférences plasma et RF.
- Conception modulaire et remplaçable à chaud pour un remplacement rapide ; diagnostics embarqués pour la température, l’état des capteurs et l’enregistrement des pannes ; réduit les arrêts non planifiés.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Équipements de dépôt de couches minces CVD/PVD/ALD
- Chambres de procédé pour wafers 200 mm / 300 mm et ESCs
- Fabs de logique/mémoire avancées (nœuds 2 nm/3 nm)
- Maintenance des fabs de semi-conducteurs, pièces détachées et mises à niveau
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Produits authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après l’expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.