Description :
Les cartes de contrôle PCB de LAM Research sont des ensembles de circuits imprimés centraux d’origine OEM spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs Lam et de traitement de couches minces. En tant que colonne vertébrale de contrôle centrale de l’équipement, ces cartes assurent le traitement de signaux à haute vitesse, le contrôle logique en temps réel, l’acquisition précise de données E/S, la distribution d’énergie et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie de PCB multicouche à haute densité, elles offrent d’excellentes performances de résistance aux interférences électromagnétiques (EMI), aux vibrations et un faible dégazage afin de maintenir un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision des procédés sur wafer et le rendement de production en fab.
Spécifications clés :
- La série complète couvre les cartes nœuds CPU principales, cartes E/S VIOP, cartes d’acquisition de température, cartes de pilotage de puissance, cartes de jonction de communication et cartes d’interface capteurs, correspondant parfaitement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de procédé Lam.
- Architecture PCB multicouche de haute qualité avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et haute vitesse de transmission, parfaitement adaptée au traitement des signaux RF haute fréquence et des faibles signaux de capteurs à l’intérieur des chambres de procédé.
- Composants électroniques de grade industriel automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performances stables sous forte interférence plasma, haute température et fonctionnement continu 24/7 en fab.
- Prend en charge le bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés de Lam, connexion plug-and-play fluide avec les contrôleurs hôtes Lam, modules de gaz MFC, spectromètres de fin de point et unités d’entraînement servo.
- Circuits intégrés de protection contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture des codes d’erreur en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure principaux Lam : 2300 Flex, série Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transport des wafers
- Système de détection de fin de point, interverrouillage de sécurité F&G et interaction de données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quel est l’état du produit et la garantie ?
R : Produits neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, PayPal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.