Description :
Les cartes de commande PCB LAM Research sont des assemblages de circuits imprimés centraux OEM d'origine spécialement conçus pour les équipements de gravure des semi-conducteurs et de traitement de couches minces de Lam. En tant que colonne vertébrale de contrôle centrale de l’outil, ces cartes exécutent le traitement de signaux à haute vitesse, le contrôle logique en temps réel, l’acquisition précise de données E/S, la distribution d’alimentation et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie de PCB multicouches à haute densité, elles offrent d’excellentes performances anti-EMI, anti-vibration et à faible dégazage pour maintenir un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision du processus des wafers et le rendement de production des fabs.
Spécifications clés :
- La gamme complète couvre les cartes nœuds CPU principales, les cartes E/S VIOP, les cartes d’acquisition de température, les cartes de commande de puissance, les cartes de jonction de communication et les cartes d’interface capteurs, s’adaptant entièrement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de procédé Lam.
- Agencement de PCB multicouches de qualité industrielle avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et vitesse de transmission élevée, parfaitement adapté au traitement des signaux RF haute fréquence et des faibles signaux de capteurs à l’intérieur des chambres de procédé.
- Composants électroniques de grade industriel automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performance stable sous forte interférence de plasma, température élevée et fonctionnement continu 24/7 en fab.
- Prend en charge les bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés de Lam, connexion plug-and-play transparente avec les contrôleurs hôtes Lam, modules de gaz MFC, spectromètres de point d’extrémité et unités d’entraînement servo.
- Circuits de protection intégrés contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture en temps réel des codes de panne et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure principaux Lam : 2300 Flex, série Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transfert des wafers
- Système de détection de fin de procédé, interverrouillage de sécurité F&G et interaction des données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3: Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.