Description :
Les cartes de contrôle PCB de LAM Research sont des ensembles de circuits imprimés centraux OEM d’origine spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs Lam et de traitement de couches minces. En tant que colonne vertébrale de contrôle central de l’outil, ces cartes assurent le traitement de signaux à haute vitesse, le contrôle logique en temps réel, l’acquisition précise de données d’E/S, la distribution d’énergie et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie de PCB multicouche à haute densité, elles offrent d’excellentes performances anti-EMI, anti-vibration et à faible dégazage afin de maintenir un fonctionnement stable et à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision des procédés sur wafer et le rendement de production en fab.
Spécifications clés :
- La gamme complète couvre les cartes nœuds CPU principales, les cartes d’E/S VIOP, les cartes d’acquisition de température, les cartes de commande de puissance, les cartes de jonction de communication et les cartes d’interface capteurs, s’adaptant parfaitement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de procédé Lam.
- Conception PCB multicouche de haute qualité avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et vitesse de transmission élevée, parfaitement adaptée au traitement des signaux RF haute fréquence et des faibles signaux de capteurs à l’intérieur des chambres de procédé.
- Composants électroniques de qualité industrielle automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performances stables sous forte interférence de plasma, haute température et fonctionnement continu 24/7 en fab.
- Prend en charge le bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés de Lam, connexion plug-and-play transparente avec les contrôleurs hôtes Lam, les modules de gaz MFC, les spectromètres de point final et les unités d’entraînement servo.
- Circuits intégrés de protection contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture des codes d’erreur en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure principaux Lam : 2300 Flex, série Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transfert de wafer
- Système de détection de fin de procédé, verrouillage de sécurité F&G et interaction des données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie de 1 an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il un stock suffisant ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après l’expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.