Description :
Les cartes de contrôle PCB LAM Research sont des ensembles de circuits imprimés centraux OEM d'origine spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs et de traitement de couches minces Lam. En tant que colonne vertébrale de contrôle central de l'outil, ces cartes exécutent un traitement de signal à haute vitesse, un contrôle logique en temps réel, une acquisition précise de données I/O, une distribution d'alimentation et une communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie de PCB multicouche à haute densité, elles offrent d'excellentes performances anti-EMI, anti-vibration et à faible dégazage pour assurer un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision des procédés de wafer et le rendement de production des fabs.
Spécifications clés :
- La série complète couvre les cartes nœuds CPU principales, les cartes I/O VIOP, les cartes d'acquisition de température, les cartes pilotes de puissance, les cartes de jonction de communication et les cartes d'interface capteurs, correspondant entièrement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de procédé Lam.
- Disposition PCB multicouche haut de gamme avec contrôle d'impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et vitesse de transmission élevée, parfaitement adaptée au traitement des signaux RF haute fréquence et des signaux capteurs faibles à l'intérieur des chambres de procédé.
- Composants électroniques de grade industriel et automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performances stables sous forte interférence plasma, haute température et fonctionnement continu 24/7 en usine.
- Prend en charge les bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés de Lam, connexion plug-and-play transparente avec les contrôleurs hôtes Lam, les modules de gaz MFC, les spectromètres endpoint et les unités d'entraînement servo.
- Circuits de protection intégrés contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture des codes de panne en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d'arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure Lam principaux : 2300 Flex, séries Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transfert des wafers
- Système de détection de point final, verrouillage de sécurité F&G et interaction de données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.