Description :
Les cartes de contrôle PCB de LAM Research sont des ensembles de circuits imprimés centraux OEM d’origine spécialement conçus pour les équipements de gravure de semi-conducteurs et de traitement de couches minces de Lam. En tant que colonne vertébrale de contrôle centrale de l’outil, ces cartes assurent le traitement de signaux à haute vitesse, la logique de contrôle en temps réel, l’acquisition précise de données E/S, la distribution d’alimentation et la communication inter-systèmes. Fabriquées selon des normes strictes de salle blanche pour semi-conducteurs et une technologie de PCB multicouches à haute densité, elles offrent d’excellentes performances anti-EMI, anti-vibrations et à faible dégazage pour maintenir un fonctionnement stable à long terme dans des environnements de plasma sous vide, garantissant efficacement la précision des procédés sur wafer et le rendement de production en fab.
Spécifications clés :
- La série complète couvre les cartes nœuds CPU principales, les cartes E/S VIOP, les cartes d’acquisition de température, les cartes de commande de puissance, les cartes de jonction de communication et les cartes d’interface capteurs, correspondant parfaitement à tous les sous-systèmes de contrôle des équipements de process Lam.
- Disposition de PCB multicouches de haute qualité avec contrôle d’impédance, excellente suppression du bruit, faible atténuation du signal et haute vitesse de transmission, parfaitement adaptée au traitement des signaux RF haute fréquence et des signaux faibles de capteurs à l’intérieur des chambres de process.
- Composants électroniques de qualité industrielle automobile, large plage de température de fonctionnement de -40°C ~ +85°C, conception stricte de protection ESD, performances stables sous forte interférence plasma, haute température et fonctionnement continu 24/7 en fab.
- Prend en charge le bus VME, Ethernet, RS232/485 et les protocoles de communication propriétaires dédiés de Lam, connexion plug-and-play transparente avec les contrôleurs hôtes Lam, modules de gaz MFC, spectromètres d’endpoint et unités d’entraînement servo.
- Circuits de protection intégrés contre les surtensions, surintensités, courts-circuits et surchauffes ; ports de débogage réservés pour la lecture des codes de panne en temps réel et le dépannage rapide afin de réduire les temps d’arrêt des équipements.
Applications typiques :
- Équipements de gravure principaux Lam : 2300 Flex, série Kiyo, systèmes de gravure ExAL
- Gravure plasma, dépôt de couches minces PVD/CVD, équipements de traitement sous vide des wafers
- Contrôle en temps réel de la température de chambre, de la pression, du débit de gaz, de la puissance RF et du transport des wafers
- Système de détection d’endpoint, verrouillage de sécurité F&G et interaction de données avec l’hôte de l’équipement
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Les modèles standard sont en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.