Description :
Il s'agit d'une carte d'alimentation OEM d'origine pour le chuck électrostatique (ESC) de LAM Research, un composant essentiel pour les graveurs de semi-conducteurs et les systèmes de dépôt. Elle fournit une tension continue haute et stable pour maintenir fermement les wafers grâce à la force électrostatique à l'intérieur des chambres à vide. Conçue avec des composants électroniques de haute qualité et un circuit anti-interférences, elle maintient des performances exceptionnelles dans des environnements à vide élevé, à haute température et soumis à de fortes interférences RF, garantissant un positionnement constant des wafers et un rendement de production stable lors d'un fonctionnement continu 24/7. C'est une pièce de rechange fiable pour la maintenance des équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Entièrement compatible avec les équipements de gravure, CVD et PVD de LAM Research. Testée et calibrée strictement en usine pour un ajustement parfait.
- Caractéristiques d'une ondulation ultra-faible et d'une sortie de courant stable. Le contrôle en boucle fermée compense les interférences RF afin de maintenir une force de serrage constante.
- Équipée de protections contre les surtensions, surintensités, surchauffes et détection d'arc. Elle coupe instantanément l'alimentation pour protéger les wafers et les équipements.
- Optimisée pour les environnements de salle blanche et sous vide difficiles, résistante aux vibrations, à la chaleur et aux interférences électromagnétiques pour une longue durée de vie.
- Structure standard et interface dédiée permettant un remplacement direct, réduisant considérablement les temps d'arrêt des équipements et les coûts de maintenance.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma LAM Research
- Équipements de dépôt de couches minces CVD, PVD et ALD
- Chambres de traitement sous vide de wafers 200 mm / 300 mm
- Maintenance des lignes de production de semi-conducteurs et remplacement de pièces détachées
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles authentiques neufs. Garantie d'un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il un stock suffisant ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3–5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d'origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.