Description :
Il s'agit d'une carte d'alimentation OEM d'origine pour le chuck électrostatique (ESC) de LAM Research, un composant essentiel pour les graveurs et systèmes de dépôt de semi-conducteurs. Elle fournit une tension continue élevée stable pour maintenir fermement les wafers par force électrostatique à l'intérieur des chambres à vide. Conçue avec des composants électroniques de haute qualité et une conception de circuit anti-interférences, elle maintient des performances exceptionnelles sous vide élevé, haute température et fortes interférences RF, garantissant un positionnement constant des wafers et un rendement de production stable lors d'un fonctionnement continu 24/7. Il s'agit d'une pièce de rechange fiable pour la maintenance des équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Entièrement compatible avec les équipements de gravure, CVD et PVD de LAM Research. Rigoureusement testée et calibrée en usine pour un ajustement parfait.
- Présente une ondulation ultra-faible et une sortie de courant stable. La régulation en boucle fermée compense les interférences RF afin de maintenir une force de maintien constante.
- Équipée de protections contre les surtensions, surintensités, surchauffes et détection d’arc. Elle coupe instantanément l’alimentation pour protéger les wafers et les équipements.
- Optimisée pour les environnements de salle blanche et de vide difficiles, résistante aux vibrations, à la chaleur et aux interférences électromagnétiques pour une longue durée de vie.
- La structure standard et l’interface dédiée permettent un remplacement direct, réduisant considérablement les temps d’arrêt des équipements et les coûts de maintenance.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma LAM Research
- Outils de dépôt de couches minces CVD, PVD et ALD
- Chambres de traitement sous vide pour wafers de 200 mm / 300 mm
- Maintenance des lignes de production de semi-conducteurs et remplacement de pièces détachées
FAQ :
Q1 : Quel est l’état du produit et quelle est la garantie ?
R : Articles neufs d’origine. Garantie de 1 an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : T/T, PayPal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
R : Emballage d’origine avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.