Description :
Ceci est une carte d'alimentation OEM d'origine pour LAM Research Electrostatic Chuck (ESC), un composant critique pour les graveurs de semi-conducteurs et les systèmes de dépôt. Elle fournit une haute tension continue stable pour maintenir fermement les wafers grâce à la force électrostatique à l'intérieur des chambres à vide. Conçue avec des composants électroniques de haute qualité et une conception de circuit anti-interférences, elle maintient des performances exceptionnelles dans des conditions de vide élevé, de haute température et de fortes interférences RF, garantissant un positionnement constant des wafers et un rendement de production stable lors d'un fonctionnement continu 24/7. Il s'agit d'une pièce de remplacement fiable pour la maintenance des équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Entièrement compatible avec les équipements de gravure, CVD et PVD de LAM Research. Rigoureusement testé et calibré en usine pour un appariement parfait.
- Présente une ondulation ultra-faible et une sortie de courant stable. Un contrôle en boucle fermée compense les interférences RF afin de maintenir une force de serrage constante.
- Équipé de protections contre les surtensions, surintensités, surchauffes et détection d’arc. Il coupe instantanément l’alimentation pour protéger les wafers et les équipements.
- Optimisé pour les environnements de salle blanche et de vide difficiles, résistant aux vibrations, à la chaleur et aux interférences électromagnétiques pour une longue durée de vie.
- Structure standard et interface dédiée permettant un remplacement direct, réduisant considérablement les temps d’arrêt des équipements et les coûts de maintenance.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma LAM Research
- Outils de dépôt de couches minces CVD, PVD et ALD
- Chambres de traitement sous vide pour wafers 200mm / 300mm
- Maintenance des lignes de production de semi-conducteurs et remplacement de pièces de rechange
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standard en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage de marque d'origine avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l'humidité et aux chocs.