Description :
Les manomètres capacitifs MKS Baratron sont des transducteurs de vide/pression absolue haut de gamme et de haute précision, la norme de l’industrie pour les équipements de procédés sous vide des semi-conducteurs. Basés sur une technologie brevetée de détection par diaphragme capacitif, ils fournissent une mesure de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition du gaz de procédé. Largement compatibles avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, ils offrent un contrôle en boucle fermée ultra-stable de la pression pour les systèmes de gravure, CVD, PVD, ALD et d’acheminement des gaz, garantissant une précision constante du vide de chambre et améliorant le rendement de production pour la fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Précision de premier ordre jusqu’à ±0,25 % de la lecture, résolution ultra-fine de 0,01 % de l’échelle pleine, excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés de semi-conducteursMKS.
- Le diaphragme et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistante aux gaz de procédé spéciaux corrosifs. Testés à 100 % contre les fuites avant livraison pour un fonctionnement sûr dans des environnements plasma difficiles.
- Couvre du vide ultra-fin à la haute pression : 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45℃ / 100℃ en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
Applications :
- Équipements de fabrication de semi-conducteurs : AMAT Centura/Endura, systèmes de gravure LAM Kiyo/2300
- Contrôle précis du vide pour le dépôt de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
- Armoire de gaz MFC, système de pompage sous vide, détection de fuites et verrouillage de sécurité de pression
- Photovoltaïque solaire, revêtement LED, procédés pharmaceutiques sous vide et tests de vide de haute précision en laboratoire
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Produits authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.