Description :
Les manomètres capacitifs MKS Baratron sont des transducteurs de pression/vide absolu haut de gamme et de haute précision, la norme industrielle pour les équipements de procédés sous vide dans le secteur des semi-conducteurs. Basés sur une technologie brevetée de détection par diaphragme capacitif, ils fournissent une mesure de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition du gaz de procédé. Compatibles avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, ils assurent un contrôle de pression en boucle fermée ultra stable pour les systèmes de gravure, CVD, PVD, ALD et de distribution de gaz, garantissant une précision de vide de chambre constante et améliorant le rendement de production pour la fabrication de semi-conducteurs.
Caractéristiques principales :
- Précision de premier ordre jusqu’à ±0,25 % de la lecture, résolution ultra-fine de 0,01 % de l’échelle pleine (Full Scale), excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés semi-conducteurs MKS.
- Le diaphragme et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistante aux gaz de procédé spéciaux corrosifs. Testés à 100 % pour l’étanchéité avant livraison afin de garantir un fonctionnement sûr dans des environnements plasma sévères.
- Couvre du vide ultra-fin aux hautes pressions : 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45 °C / 100 °C en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
Applications :
- Équipements de fabrication de semi-conducteurs : systèmes de gravure AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Contrôle précis du vide pour la déposition de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
- Armoires de gaz MFC, systèmes de pompage sous vide, détection de fuites et interverrouillage de sécurité de pression
- Photovoltaïque solaire, revêtement LED, procédés sous vide pharmaceutiques et tests de vide de haute précision en laboratoire
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Produits neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T, Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Modèles standard en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.