Description :
Les manomètres capacitifs MKS Baratron sont des transducteurs de pression/vide absolu de haute précision haut de gamme, la norme industrielle pour les équipements de procédés sous vide pour semi-conducteurs. Basés sur une technologie brevetée de détection par diaphragme capacitif, ils fournissent une lecture de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition du gaz de procédé. Largement utilisés avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, ils assurent un contrôle en boucle fermée ultra stable de la pression pour les systèmes de gravure, CVD, PVD, ALD et d’alimentation en gaz, garantissant une précision constante du vide de chambre et améliorant le rendement de production pour la fabrication de semi-conducteurs.
Spécifications clés :
- Précision de haut niveau jusqu’à ±0.25% de la lecture, résolution ultra-fine de 0.01% Full Scale, excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés semi-conducteursMKS.
- Le diaphragme et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistant aux gaz de procédés spéciaux corrosifs. Testé à 100 % contre les fuites avant livraison pour un fonctionnement sûr dans des environnements plasma difficiles.
- Couvre le vide ultra-fin jusqu’à haute pression : 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45℃ / 100℃ en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
Applications :
- Équipements de fabrication de semi-conducteurs : systèmes de gravure AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Contrôle précis du vide pour le dépôt de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
- Armoire à gaz MFC, système de pompage sous vide, détection de fuites et verrouillage de sécurité de pression
- PV solaire, revêtement LED, traitement sous vide pharmaceutique et tests de vide de haute précision en laboratoire
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : Virement bancaire (T/T), Paypal pris en charge.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il un stock suffisant ?
A : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet du processus par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.