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Tout neuf MKS Baratron E28H.1TBF1B manomètre à capacitance

Tout neuf MKS Baratron E28H.1TBF1B manomètre à capacitance

Tout neuf MKS Baratron E28H.1TBF1B manomètre à capacitance

Haute précision, performances stables

Adapté à l'automatisation industrielle

En stock et livraison rapide dans le monde entier

  • Numéro d\'article.:

    E28H.1TBF1B

  • Commande (MOQ):

    1

  • Paiement:

    100% T/T

  • Origine du produit:

    USA

  • Couleur:

    As Model

  • Port d\'expédition:

    Xiamen

  • Délai de mise en œuvre：

    2-3 days
Renseignez-vous maintenant
  • Détails du produit

Description :

Les manomètres capacitifs MKS Baratron sont des transducteurs absolus de vide/pression haut de gamme et de haute précision, la norme industrielle pour les équipements de procédés sous vide dans le secteur des semi-conducteurs. Basés sur une technologie brevetée de mesure par diaphragme capacitif, ils fournissent une lecture de pression indépendante du type de gaz, totalement insensible à la composition du gaz de procédé. Largement utilisés avec AMAT, LAM Research et les principales plateformes de fabrication de wafers, ils assurent un contrôle de pression en boucle fermée ultra-stable pour les systèmes de gravure, CVD, PVD, ALD et d’alimentation en gaz, garantissant une précision de vide de chambre constante et améliorant le rendement de production pour la fabrication de semi-conducteurs.
 
 
 
Caractéristiques principales :
  1. Précision de premier ordre jusqu’à ±0,25 % de la mesure, résolution ultra-fine de 0,01 % de l’échelle pleine (Full Scale), excellente stabilité à long terme et dérive minimale pour répondre aux exigences strictes des procédés de semi-conducteursMKS.
  2. Le diaphragme et les parties en contact avec le fluide utilisent un alliage de nickel Inconel® / Incoloy® ou de l’acier inoxydable 316L avec une structure entièrement soudée, résistant aux gaz de procédés spéciaux corrosifs. Testés à 100 % pour les fuites avant livraison pour un fonctionnement sûr dans des environnements plasma sévères.
  3. Couvre du vide ultra-fin aux hautes pressions : 0,1 mTorr ~ 3000 PSIA. Les modèles chauffés (45 ℃ / 100 ℃ en option) empêchent efficacement la condensation des milieux de procédé volatils afin d’éviter les écarts de mesure.
 
 
 

Applications :

  1. Équipements de fabrication de semi-conducteurs : systèmes de gravure AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
  2. Contrôle précis du vide pour le dépôt de couches minces, la gravure plasma et l’implantation ionique
  3. Armoire de gaz MFC, système de pompage sous vide, détection de fuites et verrouillage de sécurité de pression
  4. PV solaire, revêtement LED, traitement sous vide pharmaceutique et tests de vide haute précision en laboratoire

 

 

FAQ :

Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
R : Articles neufs et authentiques. Garantie d’un an incluse.

Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
R : Virement bancaire (T/T), Paypal pris en charge.

Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
R : Modèles standards en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.

Q4 : Expédition et suivi
R : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.

Q5 : Emballage et sécurité

 

R : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.

 

 

Balises associées : Industrial equipment Automation components Capacitance Manometer
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