Description :
Le Lam Research Temperature Control Board est un composant central de gestion thermique pour les systèmes de gravure, de dépôt et de traitement de plaquettes semi-conductrices. Il fournit une régulation de température multicanal de haute précision afin de maintenir une uniformité thermique stricte dans les chambres de procédé, les mandrins électrostatiques (ESC) et les plateformes de wafer. Conçu pour un fonctionnement 24/7 dans des environnements à vide poussé, à haute température et plasma, il garantit une température de wafer constante, stabilise les recettes de procédé et maximise le rendement de production. Les cartes OEM Lam d’origine garantissent une compatibilité plug-and-play, un étalonnage précis et une fiabilité à long terme pour les fabs de semi-conducteurs de nœuds avancés (2nm/3nm).
Spécifications clés :
- Assemblage de PCB Lam Research d’origine, entièrement compatible avec les graveurs Kiyo, les plateformes ExAL et les systèmes CVD/PVD. Étalonné en usine et testé pour une intégration transparente.
- Prend en charge 16–24 canaux (entrées Pt100 RTD/thermocouple) ; atteint une stabilité de ±0,1 °C sur une plage de 25–150 °C grâce à des algorithmes PID à auto-réglage.
- Contrôle en boucle fermée pour le chauffage/refroidissement (compatible TEC) ; retour de capteurs en temps réel avec un échantillonnage à 500 Hz ; compensation de la dérive ambiante et du retard des capteurs.
- Coté pour le vide (≤1×10⁻⁶ Torr), blindé contre les EMI, résistant aux vibrations ; fonctionne de manière fiable de 0 à 55 °C avec immunité aux interférences plasma et RF.
- Conception modulaire, remplaçable à chaud pour un remplacement rapide ; diagnostics embarqués pour la température, l’état des capteurs et l’enregistrement des défauts ; réduit les temps d’arrêt non planifiés.
Applications typiques :
- Systèmes de gravure plasma Lam Research (Kiyo, ExAL, série 9000)
- Équipements de dépôt de couches minces CVD/PVD/ALD
- Chambres de procédé pour wafers 200 mm / 300 mm et ESC
- Fabs de logique/mémoire avancées (nœuds 2 nm/3 nm)
- Maintenance des fabs de semi-conducteurs, pièces de rechange et mises à niveau
FAQ :
Q1 : Quelle est la situation du produit et la garantie ?
A : Articles authentiques neufs. Garantie d’un an incluse.
Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : Virement T/T, Paypal acceptés.
Q3 : Quel est le délai de livraison du produit ? Y a-t-il suffisamment de stock ?
A : Les modèles standards sont en stock, expédiés sous 3 à 5 jours ouvrables après paiement. Les modèles rares nécessitent une commande auprès du fabricant — contactez le service client pour les délais.
Q4 : Expédition et suivi
A : DHL/FedEx/UPS disponibles. Numéro de suivi + lien fournis après expédition. Suivi complet assuré par notre équipe.
Q5 : Emballage et sécurité
A : Emballage d’origine de la marque avec protection renforcée (mousse, cartons scellés, caisses en bois pour équipements de précision). Résistant à l’humidité et aux chocs.